У нее есть несколько плюсов:
- автоматически исключается конфликт названий
- автоматически обходятся проблемы с доступом
В результате гарантированно создается пустой временный файл.
У меня, по крайней мере, никогда не было проблем с ней. Насколько я помню, файл всегда создавался в папке "C:\Users\<UserName>\AppData\Local\Temp".